Campus WelsTechnik & Angewandte Naturwissenschaften

Rasterelektronenmikroskop TESCAN Vega2 LMU mit Oxford AZtecEnergy XT EDX

Als Rasterelektronenmikroskop (REM) bezeichnet man ein Elektronenmikroskop, bei dem ein Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster über das vergrößert abzubildende Objekt geführt (gerastert) wird und Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes des Objekts genutzt werden. Die typisch mit einem Rasterelektronenmikroskop erzeugten Bilder sind Abbildungen der Objektoberflächen und weisen eine hohe Schärfentiefe auf.

EDX-Detektor (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)

Zur Charakterisierung der Elementzusammensetzung kleinster Probenbereiche wird im REM die charakteristische Röntgenstrahlung genutzt, die entsteht, wenn ein Elektron des Elektronenstrahls im Atom der Probe ein kernnahes Elektron aus seiner Position schlägt. Diese Lücke wird von einem energiereicheren Elektron aus einem höheren Orbital aufgefüllt. Die Energiedifferenz wird in Form eines Röntgenquants frei. Die entstandene Röntgenstrahlung ist charakteristisch für den Übergang und das Atom. Mittels geeigneter Halbleiterdetektoren können die Energien, deren Intensität charakteristisch für die in der Probe enthaltenen Elemente ist, aufgenommen werden und so direkt auf das Element geschlossen werden.