Campus WelsTechnik & Angewandte Naturwissenschaften

LEICA DCM 3D - Konfokalmikroskop

Das Konfokalmikroskop dient zur hochgenauen, berührungslosen, dreidimensionalen Vermessung von Oberflächen. Der Aufbau ähnelt einem Lichtmikroskop. Dabei wird die geringe Schärfentiefe und eine Blende genutzt, um die Oberfläche dreidimensional vermessen zu können. Im Gegensatz zum Tastschnittverfahren wird gleich eine ganze Oberfläche vermessen, wodurch bedeutend genauere Analysen ermöglicht werden. Es können vertikale Auflösungen von weniger als 3 Nanometer erreicht werden. Für hochpolierte Oberflächen besteht zusätzlich die Möglichkeit der interferometrischen Messung, wodurch eine vertikale Auflösung von weniger als 0,1 Nanometer erreicht werden kann. Durch einen motorisierten Tisch können auch größere Flächen vermessen werden. Helle, glänzende und nicht durchsichtige Oberflächen eignen sich optimal zur Messung. Bei Problemfällen kann die Oberfläche mit Gold bedampft werden. Je nach Anwendungsfall steht unterschiedliche Software für die Datenverarbeitung zur Ver-fügung. Das Programm „Leica Maps“ ermöglicht die Auswertung annähernd aller genormter Messungen und Auswertungen. Weitere Auswertungen können durch eigene Programme realisiert werden.

Daten

  • Optische / berührungslose 3D- Oberflächenvermessung
  • Optische Auflösung (x/y) bis 0,15 μm möglich
  • Vertikale Auflösung im Konfokalmodus < 3 nm
  • Vertikale Auflösung im Interferenzmodus < 0,1 nm möglich
  • Maximales Probengewicht 10 kg
  • Maximale Probenhöhe ca. 150 mm