Campus WelsTechnik & Angewandte Naturwissenschaften

Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop TESCAN Mira 3 LMH mit Oxford AZtecEnergy XT EDX

Das Tescan MIRA 3 LMH ist ein leistungsstarkes Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit einem Schottky-FE- Kathodensystem. Das FE-REM unterscheidet sich von einem konventionellen Wolframkathodenrasterelektronenmikroskop durch die Möglichkeit kleinste Oberflächenstrukturen von < 1,2nm bei gleichzeitig hoher Tiefenschärfe abbilden zu können. Das breite Anwendungsgebiet erstreckt sich von der Visualisierung kleinster Oberflächenstrukturen von Beschichtungen, Folien, Bruchflächen, usw. bis hin zur Materialanalytik. Für die Analytik stehen zwei Detektoren zur Verfügung. Bei der energiedispersiven Röntgenanalyse (EDX-Analyse) werden Röntgenstrahlen detektiert, die bei der Wechselwirkung zwischen Elektronen und Probe freigesetzt werden. Die elementspezifischen Banden werden zur Elementanalyse verwendet. Der Nachweis kann mittels Punktanalysen oder Flächenanalysen (Elementverteilungsbilder) erfolgen. Mit dem Rückstreudetektor (BSE-Detektor) ist es möglich, den Materialkontrast über Graustufen darzustellen.

Technische Daten

  • Schottky FE-Kathodensystem 0,2 bis 30KV
  • Auflösung 1nm bei 30kV
  • 5-achsig euzentrischer, vollmotorisierter Probentisch mit x: 80mm, y: 60mm, z: 47mm, R = 360°, Kippwinkel +/-80°
  • Maximale Probenhöhe 81mm
  • EDX-System OXFORD AZtecEnergy XT mit einem 10mm² Detektorfenster
  • BSE-YAG Detektor